ASML's Architects
Bab 72
Scanning
#1: Latar Belakang "Si Pemberontak"
Martin van den Brink Martin dikenal sebagai insinyur bintang yang keras kepala, anti-birokrasi, dan sering melanggar aturan.
Gagal di Fokker: Setelah PAS 2500 selesai (1986), ia melamar ke Fokker tapi ditolak karena tersenyum sinis mendengar obsesi mereka pada dokumentasi. Ia tidak cocok dengan budaya birokratis.
Mentor Wittekoek: Steef Wittekoek (ilmuwan pria sejati) menjadi mentor yang menenangkan Martin. Mereka sering bermain ski bersama dan Wittekoek menjadi jembatan Martin ke dunia sains elit (IBM, Bell Labs).
#2: Hobi Sampingan: Step-and-Scan (1989-1992)
Di sela-sela kesibukan PAS 5500, Martin diam-diam mengembangkan konsep Step-and-Scan sebagai hobi.
Logika Scanner: Berbeda dengan stepper (jepret-pindah-jepret), scanner memindai wafer dengan celah cahaya (slit) bergerak. Ini memungkinkan pencetakan chip 40% lebih besar dengan lensa lebih kecil/murah. Martin yakin ini masa depan.
Proyek JESSI/ESPRIT: Wittekoek berhasil mendapatkan dana Uni Eropa untuk riset ini, bekerja sama dengan Natlab.
#3: Kolaborasi IBM & Veto Henk Bodt (1992)
ASML diundang oleh Janus Wilczynski (IBM Fellow) ke Yorktown Heights untuk berkolaborasi membuat scanner.
Kesan Mendalam: Martin terpesona oleh fasilitas mewah IBM dan galeri peraih Nobel, sempat menyesal bekerja di "ASML yang tidak penting".
Desain Superior: Tim ASML/Zeiss mengusulkan desain optik yang lebih kompak (1 meter) dibanding desain IBM (5 meter). IBM setuju bekerja sama.
Veto Bodt: Namun, Henk Bodt (Dewan Pengawas) trauma dengan biaya pengembangan PAS 5500 yang hampir membunuh perusahaan. Ia melarang proyek scanner: "Apa yang Martin lakukan, kita tidak akan ulangi lagi. Itu jembatan yang terlalu jauh."
Keputusan Maris: Willem Maris terpaksa mematuhi Bodt dan membatalkan proyek scanner. Martin marah besar.
#4: Godaan Varian & Penyelamatan Maris (Juni 1993)
Boris Lipkin (eks-IBM, kini di Varian) menawarkan posisi Kepala R&D Varian kepada Martin di Silicon Valley. CEO Varian saat itu adalah Dick Aurelio (eks-ASML).
Niat Hengkang: Kecewa proyeknya dibatalkan, Martin terbang ke San Francisco, disambut karpet merah oleh Aurelio, dan memutuskan menerima tawaran tersebut.
Intervensi Maris: Maris mendapat bocoran info ini. Ia panik ("Jika Martin pergi, kita tamat") dan menyusul ke pertemuan Sematech di AS.
Tawaran Balik: Di AS, Maris menawarkan Martin posisi Kepala R&D ASML (menggantikan Evert Polak), kursi di Tim Manajemen, dan izin rahasia untuk melanjutkan proyek scanner tanpa sepengetahuan Henk Bodt.
Syarat: Martin harus kuliah manajemen 6 minggu di Wharton dulu untuk belajar memimpin orang (karena ia dibenci banyak manajer teknis akibat sifatnya yang kasar).
#5: Kelahiran Scanner (TwinScan)
Dengan dana JESSI lagi, Martin mengumpulkan tim arsitek (termasuk Erik Loopstra) untuk membangun scanner.
Sistem Hybrid: Zeiss mendesain lensa yang bisa dipakai untuk mode stepper (22x22mm) dan scanner (26x5mm).
Inovasi Natlab: Untuk mengatasi masalah presisi pada kecepatan tinggi, Frank Sperling dan Ad Bouwer menggunakan prinsip long-stroke/short-stroke dengan balance mass (massa penyeimbang).
Stabilitas Ekstrem: Sistem ini begitu stabil sehingga koin yang diletakkan berdiri di atas mesin tidak akan jatuh saat mesin memindai dengan akselerasi tinggi. Ini menjadi dasar teknologi TwinScan yang masih dipakai ASML hingga hari ini.
