ASML's Architects
Bab 2
Philips Elcoma
#1: Keterbatasan Produksi dan Provokasi dari Elcoma (Paruh Kedua Tahun 1960-an)
Divisi semikonduktor Philips, Elcoma, yang berbasis di Nijmegen, memutuskan untuk berekspansi dari produksi transistor ke sirkuit terpadu (integrated circuits). Namun, mereka menghadapi hambatan teknologi yang serius; mesin photorepeater buatan Amerika (David Mann) yang mereka gunakan di Eindhoven dan Nijmegen sudah melewati masa jayanya. Mesin-mesin ini dinilai tidak cukup akurat dan terlalu padat karya karena memerlukan pengawasan operator secara terus-menerus.
Situasi memanas ketika Mat Wijburg, direktur pusat masker Elcoma, melontarkan komentar merendahkan terhadap para peneliti Natlab. Ia menyindir bahwa Natlab hanya bisa membual tentang bantalan hidrostatik (hydrostatic bearings) dan teknologi pneumatik mereka, tetapi tidak menggunakannya untuk membantu pembuatan chip. Sindiran ini memicu diskusi serius antara kedua divisi, yang akhirnya berujung pada keputusan strategis: Natlab akan membangun photorepeater baru, sementara grup komponen terpadu Elcoma akan menangani elektronikanya.
#2: Lampu Hijau dan Desain Enam Laras (Musim Gugur 1966)
Setelah empat tahun menunggu sejak ide pertamanya, Frits Klostermann akhirnya mendapatkan izin resmi dan anggaran besar dari bosnya, Jonker, untuk membangun mesin impiannya pada musim gugur 1966. Targetnya ambisius: mesin tersebut harus siap digunakan pada April 1967. Klostermann merancang mesin untuk memproyeksikan pola sirkuit berukuran 0,5 hingga 1 milimeter pada pelat kaca negatif, di mana ratusan hingga ribuan sirkuit harus dicetak satu per satu dengan presisi tingkat mikron.
Klostermann menerapkan prinsip operasi yang sama dengan kamera step-and-repeat milik Mann, namun dikalikan enam. Ia merancang sistem dengan 6 lensa reduksi yang disatukan dalam satu blok, lengkap dengan 6 lampu kilat dan 6 objektif yang berorientasi vertikal. Desain ini memungkinkan eksposur enam pelat foto yang berbeda secara bersamaan untuk satu chip (satu untuk setiap lapisan), meningkatkan efisiensi produksi secara drastis dibandingkan mesin laras tunggal.
#3: Pengujian Prototipe dan Integrasi Teknologi Presisi (Akhir 1966)
Klostermann segera menguji pengaturan awal untuk photorepeater laras tunggal. Sekitar 20 kandidat lensa diuji menggunakan sistem tersebut untuk menilai ketajaman dan distorsi. Laporan Klostermann mencatat bahwa hasil terbaik dicapai menggunakan optik yang dikembangkan secara khusus oleh Zeiss untuk mikroelektronika.
Keunggulan utama mesin Klostermann didukung oleh teknologi presisi internal Natlab yang tidak tersedia di pasaran. Ia mengintegrasikan sistem pengukuran kisi linier (linear grating measurement system) yang dikembangkan oleh peneliti optik Hendrik de Lang pada pertengahan 60-an. Penggaris optoelektronik ini mampu mengukur perpindahan dengan akurasi hingga 0,1 mikron (sepersepuluh mikron), memberikan data posisi yang sangat presisi untuk memicu lampu kilat pada waktu yang tepat.
#4: Kendala Optik dan Kemitraan dengan CERCO (Akhir 1966 - 1967)
Meskipun pengujian awal berhasil, Klostermann memiliki standar tinggi dan menginginkan objektif dengan bidang pandang (field of view) yang lebih besar daripada yang disediakan Zeiss. Ketika ia mendekati Carl Zeiss di Oberkochen, Jerman Barat, permintaannya ditolak karena volume pesanan Natlab dianggap terlalu kecil untuk upaya pembuatan lensa kustom (custom lens).
Tidak menyerah, Klostermann memanfaatkan jaringan internasional Natlab. Melalui LEP (cabang Natlab di Prancis yang menangani proyek dirgantara), ia terhubung dengan CERCO, sebuah spesialis optik kecil di Paris. Perusahaan yang dipimpin oleh Edgar Hugues ini terbiasa mengerjakan pesanan khusus untuk militer dan pemerintah. CERCO menyanggupi tantangan tersebut dan segera mulai mengerjakan 6 lensa photorepeater sesuai spesifikasi khusus yang diminta Klostermann.
