ASML's Architects
Bab 66
Japanese Glass
#1: Bencana Distorsi Lensa & Baptisan Api Kaiser (Januari 1992)
Delegasi IBM (dipimpin George Gomba) datang ke Zeiss dengan amarah. Lensa i-line PAS 5500 mengalami distorsi asimetris yang parah.
Respon Defensif: Insinyur Zeiss menyangkal kesalahan, menyalahkan alat ukur ASML. Ini adalah hari pertama Winfried Kaiser sebagai kepala R&D Zeiss, dan ia langsung menghadapi "baptisan api".
Penemuan Kaiser: Setelah memeriksa ulang, Kaiser menemukan metode tes Zeiss memang salah. Sensor elektronik mereka jenuh (saturated) sehingga menyembunyikan cacat lensa.
#2: Diagnosa Gomba & Kaca Buruk (Schott)
Meskipun kesalahan tes diperbaiki, lensa masih cacat. Gomba menyarankan metode diagnostik ala Perkin-Elmer: poles lempengan kaca sebelum digerinda.
Akar Masalah: Masalahnya ada pada kaca optik Schott (saudara Zeiss) yang tidak homogen akibat pendinginan yang tidak merata (thermal stress). Ini menyebabkan indeks bias bervariasi.
Keputusan Drastis: Karena Schott butuh setahun untuk memperbaiki proses, Kaiser nekat terbang ke Jepang dan membeli kaca dari Ohara (pemasok utama Canon!).
Ironi: Ohara menyambut Zeiss dengan tangan terbuka dan terbukti memiliki kualitas kaca superior yang diinginkan Kaiser. Zeiss akhirnya menggunakan kaca Jepang untuk menyelamatkan mesin Belanda.
#3: Misteri "Soot" (Jelaga) dan Masalah Transmisi
Bencana lain muncul dari pelanggan terbesar, Micron dan TSMC.
Gejala: Lensa PAS 5500 dan 5000 kehilangan daya transmisi cahaya seiring waktu. Lapisan karbon (jelaga) menumpuk di kaca, membuat lensa "buta".
Penyebab: Lem pada lensa i-line Zeiss mengeluarkan gas (outgassing). Karena lensa ini direndam dalam gas Helium (untuk kestabilan suhu), sinar UV energi tinggi bereaksi dengan gas lem tersebut membentuk endapan organik.
Kenapa Dulu Tidak?: Generasi sebelumnya (PAS 2500) tidak mengalami ini karena lensa direndam di Udara (mengandung oksigen). Oksigen berubah menjadi Ozon saat kena UV, yang secara alami "membakar" kotoran organik. Helium murni tidak memiliki efek pembersih ini.
#4: Solusi Kimia & Ozon
Fisikawan ASML, Jan-Willem Martens, dan Kaiser menemukan solusinya saat dalam perjalanan ke Taiwan.
Sihir Ozon: Dengan mencampurkan sedikit oksigen ke dalam helium, ozon terbentuk dan membersihkan lensa secara otomatis.
Pembersihan: Tim kimia juga mengembangkan prosedur pembersihan 24 jam dengan generator ozon untuk "menggosok" lensa yang sudah kotor tanpa perlu membongkarnya.
#5: Kemarahan Maris & Keputusasaan Kaiser (Mei 1992)
Willem Maris, yang stres memikirkan gaji karyawan, meledak marah kepada Kaiser di Oberkochen karena lambatnya pasokan lensa.
Ancaman Mundur: Kaiser sangat terguncang oleh kemarahan Maris hingga ingin mengundurkan diri. Ia merasa gagal berkomunikasi.
Intervensi Martin: Martin van den Brink menelepon Kaiser untuk menenangkannya: "Winfried, tolong jangan menyerah. Kami percaya padamu... Situasi di sini memang panas... Tetaplah bekerja bersama kami." Dukungan Martin ini krusial menjaga Kaiser tetap di Zeiss.
