ASML's Architects
Bab 13
GCA Plays Its Trump Card
#1: Respons Pragmatis terhadap Ancaman Perkin-Elmer (Pertengahan 1970-an)
Menghadapi ancaman dari pemindai Micralign buatan Perkin-Elmer yang menggerus pasar photorepeater, tim di GCA David Mann yang dipimpin oleh Burt Wheeler memutuskan untuk bertindak cepat. Dengan hanya segelintir insinyur, mereka memutuskan untuk memodifikasi kamera step-and-repeat mereka menjadi wafer stepper.
Pendekatan mereka sangat pragmatis dan berbeda jauh dari perfeksionisme Natlab. Mereka mengubah kamera menjadi perangkat yang bisa mengekspos wafer silikon secara langsung dengan menambahkan mekanisme stop-and-go dan meja posisi baru. Operator bahkan harus menempatkan wafer secara manual pada versi primitif ini. Mereka memilih jalur aman: menggunakan penyelarasan di luar lensa (off-axis alignment) yang kurang akurat namun lebih mudah diproduksi daripada sistem through-the-lens yang rumit, serta menggunakan sekrup timbal (lead screws) alih-alih hidrolik canggih.
#2: Masalah Lensa Nikon dan Peralihan ke Zeiss (Pertengahan 1970-an)
GCA menghadapi masalah teknis serius dengan lensa Nikon yang mereka gunakan pada kamera repeater enam laras. Lensa tersebut tidak telecentric; ketika fokus berubah, ukuran gambar ikut berubah, menyebabkan pola masker tidak sejajar (misalignment). Howard Lovering, insinyur optik GCA, menyadari mereka membutuhkan lensa yang sudut jatuhnya cahaya tegak lurus (90 derajat) terhadap resist.
Untuk mengatasi ini, Wheeler dan Lovering terbang ke Jerman menemui Zeiss. Zeiss tertarik dan mulai memproduksi lensa telecentric untuk GCA. Kemitraan strategis ini menjadi kunci kualitas optik pada stepper pertama GCA, menggantikan Nikon yang sebelumnya menjadi pemasok utama mereka sejak 1969.
#3: Peluncuran DSW4800 dan Penjualan Perdana (1978)
Pada tahun 1978, GCA meluncurkan DSW4800 (Direct Step to Wafer), wafer stepper komersial pertama di dunia. Mesin ini menggunakan garis-g merkuri dan optik Zeiss dengan reduksi 10:1 (mencetak area persegi 10x10 milimeter).
Harga katalog mesin ini adalah $450.000. Unit pertama terjual seharga $370.000 ke divisi riset Texas Instruments (TI) untuk pengembangan memori gelembung magnetik (magnetic bubble memories). Meskipun Bill Tobey (pemasaran) awalnya menghadapi sambutan yang agak dingin karena mesin dianggap lambat, ia berhasil menutup kesepakatan dengan pemain besar lain seperti Intel, Fujitsu, dan Mostek.
#4: Ledakan Pendapatan dan Pertumbuhan Perusahaan (1978 - 1981)
Meskipun S&I di Philips masih berkutat dengan prototipe, mesin GCA meraih kesuksesan komersial yang luar biasa. Pendapatan stepper GCA meroket dari $12 juta pada tahun 1978 menjadi lebih dari $110 juta pada tahun 1981. Dalam periode yang sama, staf teknis Mann berkembang dari 10 menjadi lebih dari 60 orang.
Kesuksesan ini membingungkan beberapa pengamat, seperti peneliti Rebecca Henderson, karena pemindai Perkin-Elmer saat itu sebenarnya masih efektif dan lebih murah. Namun, GCA berhasil memasarkan keunggulan resolusi optik Zeiss dan fakta bahwa sistem reduksi 10:1 membuat debu pada masker menjadi tidak relevan saat dicetak (meningkatkan yield), berbeda dengan sistem 1:1 Perkin-Elmer yang mencetak debu apa adanya.
#5: Faktor "Paranoia" Industri dan Adopsi Pasar (Akhir 1970-an - Awal 1980-an)
Selain keunggulan teknis, kesuksesan DSW4800 didorong oleh psikologi pasar. Industri semikonduktor dipenuhi "paranoia" akan ketertinggalan teknologi. Produsen memori seperti Motorola dan Mostek menggunakan stepper GCA untuk menangkap pangsa pasar memori DRAM 64-kilobit secara cepat. Doug Marsh (Direktur Penjualan GCA saat itu) mencatat bahwa pelanggan mendapat keuntungan besar dari yield yang tinggi berkat presisi overlay mesin tersebut.
Meskipun butuh waktu dua tahun bagi stepper untuk beroperasi penuh di pabrik, perusahaan-perusahaan chip berlomba membelinya sebagai asuransi masa depan, takut melewatkan generasi chip berikutnya. Akibatnya, GCA David Mann mendominasi pasar dan tidak bisa memenuhi permintaan yang membludak, sementara Philips tertinggal momentum.
