Chip War
Bab 39
EUV
#1: Pertaruhan $4 Miliar Intel (2012)
Pada tahun 2012, bertahun-tahun sebelum ASML memiliki mesin EUV fungsional, Intel membuat pertaruhan terbesar dalam sejarahnya dengan menginvestasikan $4 miliar secara langsung ke ASML. Samsung dan TSMC juga ikut menyuntikkan dana.
Langkah ini didasari oleh realitas bahwa pengembangan litografi Extreme Ultraviolet (EUV) membutuhkan dana riset yang tidak terbatas. Industri menyadari bahwa cahaya ultraungu 193 nm sudah mencapai batas fisiknya, dan satu-satunya cara untuk melanjutkan Hukum Moore adalah beralih ke cahaya 13,5 nm yang pengembangannya telah menelan biaya miliaran dolar sejak era Andy Grove.
#2: Kompleksitas Menciptakan Cahaya EUV (2000-an - 2010-an)
Berbeda dengan bohlam sederhana di mikroskop Jay Lathrop, menciptakan cahaya EUV membutuhkan proses yang "membingungkan pikiran" (mind-boggling). Cymer, perusahaan San Diego yang didirikan ahli laser UC San Diego, mengembangkan metode ekstrem: menembak bola timah mikroskopis (selebar 30 per sejuta meter) yang bergerak dalam ruang hampa dengan kecepatan 200 mil per jam.
Timah tersebut ditembak laser dua kali: pertama untuk memanaskan, kedua untuk meledakkannya menjadi plasma bersuhu setengah juta derajat (lebih panas dari matahari). Proses ini harus diulang 50.000 kali per detik untuk menghasilkan cahaya yang cukup guna mencetak chip.
#3: Laser Trumpf dan Optik Zeiss: Keajaiban Jerman
Untuk menembak timah tersebut, Cymer membutuhkan laser yang belum pernah ada. Pada musim panas 2005, mereka mendekati Trumpf (Jerman), pembuat laser industri terbaik. Trumpf menghabiskan satu dekade untuk mengembangkan sistem laser CO2 yang menggunakan kipas levitasi magnetik dan terdiri dari 457.329 komponen presisi.
Setelah cahaya tercipta, Zeiss (Jerman) harus memantulkannya menggunakan cermin terhalus yang pernah dibuat manusia (terdiri dari 100 lapisan molibdenum dan silikon). Saking halusnya, jika cermin ini diperbesar seukuran negara Jerman, ketidakrataan terbesarnya hanya sepersepuluh milimeter. Cermin ini harus diam sempurna, dengan presisi yang setara dengan menembak bola golf di bulan dari bumi.
#4: Manajemen Rantai Pasok ASML sebagai "Mesin"
Frits van Houts, yang memimpin bisnis EUV ASML mulai 2013, menjelaskan bahwa keahlian utama ASML bukanlah membuat komponen (mereka hanya membuat 15% sendiri), melainkan mengelola ribuan pemasok seperti sebuah mesin.
ASML memberlakukan standar yang brutal kepada pemasoknya. CEO Peter Wennink bahkan mengancam (dan membuktikan dengan membeli Cymer): "Jika kalian tidak berperilaku baik, kami akan membeli kalian." Integrasi ini krusial karena mesin EUV memiliki ratusan ribu komponen dan berharga lebih dari $100 juta; setiap jam downtime berarti kerugian ribuan dolar bagi pembuat chip.
#5: Kemenangan Globalisasi atas Nasionalisme
Meskipun teknologi dasarnya dirintis di Laboratorium Nasional AS dan didanai Intel, mesin EUV bukanlah produk "Belanda" atau "Amerika" semata. Ini adalah puncak pencapaian rantai pasok global yang melibatkan laser California, optik Jerman, dan integrasi Belanda.
Pada pertengahan 2010-an, setelah tiga dekade pengembangan dan puluhan miliar dolar, mesin paling kompleks dalam sejarah manusia ini akhirnya siap digunakan, menjawab pertanyaan skeptis Andy Grove puluhan tahun lalu ("Apakah ini akan berhasil?") dengan jawaban tegas: Ya, berkat kolaborasi lintas negara yang mustahil dilakukan oleh satu negara sendirian.
