ASML's Architects
Bab 10
American Style
#1: Kegagalan Microprojector dan Inovasi Cermin Cekung (Awal 1970-an)
Setelah kegagalan Microprojector masuk pasar, Harold Hemstreet, manajer umum divisi elektro-optik Perkin-Elmer, membawa keraguannya kepada Abe Offner, desainer optik veteran. Offner bereksperimen dengan cermin cekung (concave mirrors) yang memiliki keunggulan bebas dispersi (semua panjang gelombang dibiaskan pada sudut yang sama).
Offner menciptakan desain elegan yang menggabungkan dua cermin sferis cekung, di mana aberasi satu cermin dikompensasi oleh cermin lainnya dalam cincin kecil. Desain ini memungkinkan proyeksi pola satu-banding-satu (1:1) ke wafer silikon menggunakan celah lengkung (curved slit) selebar 1 mm. Solusi ini jauh lebih sederhana ("hampir kekanak-kanakan") dibandingkan sistem 16 lensa Microprojector, namun sangat efektif hingga menjadi contoh buku teks optik.
#2: Kelahiran Micralign dan Taruhan "Kopi vs Bermuda" (November 1971 - 1973)
Prototipe awal meyakinkan Angkatan Udara AS untuk menyuntikkan dana $100.000. Jere Buckley (mekanik) dan Dave Markle (sistem optik) mempresentasikan desain dasar pada November 1971, melahirkan Micralign. Mereka menggunakan lampu uap merkuri tugas berat untuk memindai wafer dalam 10-12 detik.
Menghadapi tenggat waktu peluncuran musim panas 1973, tekanan memuncak. Hemstreet memprediksi mereka akan menjual "seribu mesin", yang saat itu dianggap halusinasi oleh timnya. Dalam satu sesi lembur larut malam, Direktur Pemasaran Peter Moller menawarkan taruhan: perjalanan ke Bermuda jika mereka menjual mesin ke-100, atau secangkir kopi sekarang. Tim yang kelelahan memilih kopi.
#3: Penjualan Pertama dan Dampak Revolusioner (1974 - Akhir 1970-an)
Pada tahun 1974, Texas Instruments (TI) membeli Micralign pertama seharga $98.000. Awalnya, ada masalah adaptasi di pabrik (operator bahkan meletakkan kaki di atas meja mesin saat memindai, menyebabkan gambar buram), namun manfaat ekonominya segera terasa. Micralign menghilangkan biaya masker kontak yang boros dan meningkatkan yield secara drastis, sehingga TI balik modal hanya dalam 10 bulan.
Kesuksesan ini mengubah industri. Micralign memungkinkan produksi chip murah untuk PC, seperti prosesor Intel 8086 (1978) dan 8088 (1979) yang digunakan IBM PC pertama. Pada akhir 70-an, Perkin-Elmer menguasai 90% pasar fotolitografi, menjadikan ide wafer stepper (seperti yang dikembangkan Natlab) terlihat usang dan dikesampingkan.
#4: Respons GCA David Mann: Ancaman dan Peluang (1975)
Kesuksesan Perkin-Elmer mengancam pasar photorepeater milik GCA David Mann. Pada tahun 1975, Manajer Umum Burton "Burt" Wheeler mengumpulkan timnya (termasuk Griff Resor dan Bill Tobey) untuk membahas strategi. Mereka menyadari kepemimpinan pasar mereka dalam bahaya.
Meskipun manajemen senior GCA percaya masa depan ada pada E-beam, Wheeler dan timnya memutuskan untuk memodifikasi model step-and-repeat camera mereka menjadi wafer stepper. Mereka melihat peluang karena meskipun ide proyeksi langsung ke silikon sudah menyebar (TI dan Fairchild membuat stepper sendiri), belum ada versi komersial yang tersedia. Mereka yakin keunggulan mereka terletak pada pemahaman pasar dan hubungan pelanggan.
#5: Pertemuan Gagal dengan Philips (Pertengahan 1970-an)
Hubungan Mann dengan industri sangat luas, termasuk dengan Philips. Pada tahun 1971, Bill Tobey pernah menjamu Van Heek dan Bouwhuis. Pada pertengahan 70-an, Tobey dan Resor pergi ke Eindhoven untuk membicarakan potensi usaha patungan (joint venture).
Namun, pertemuan itu gagal total. Tobey pulang dengan kecewa, menyatakan, "It was the Philips way or no way" (Harus cara Philips atau tidak sama sekali). Philips menolak kerja sama tersebut, sebuah keputusan yang di kemudian hari terbukti sebagai kesalahan strategis besar karena mereka baru saja menolak "kesepakatan abad ini".
